Стилусный профилометр KLA Tencor: Р-7

Стилусный профилометр P-7 обладает выдающимися характеристиками, что делает его очень мощным инструментом для таких областей применения как:

  • Разработка процессов производства и контроля научных исследований;
  • Производство фотоэлектрических элементов;
  • Производство устройств хранения данных;
  • Производство микроэлектромеханических систем;
  • Оптоэлектроника;
  • Прочие применения промышленной метрологии высокоточных производств. 

Основными приложениями для стилусного профилометра P-7 являются:

  • Измерение толщины и шероховатости тонких пленкок и покрытий;
  • Исследование структуры пластичных материалов (возможно за счет приложения переменного усилия к стилусу, использования емкостного датчика положения, а так же сменных стилусов);
  • Измерение глубины травления;
  • Вычисление более чем 40 различных параметров поверхности, в том числе шероховатость, плоскопараллельность, макрорельеф с помощью программного обеспечения для анализа пиков;
  • Расчет параметров топологии поверхности по данным измерений и преобразование результата в 3D модель. В качестве опции предлагается офлайн анализ данных, позволяющий производить анализ без влияния на производительность;
  • Измерение напряжений в тонких пленках (позволяет оптимизировать процессы для предотвращения появления трещин или нарушений адгезии);
  • Выявление дефектов поверхности. Продвинутые характеристики системы выявления дефектов позволяют добавлять модели дефектов, созданные пользователем. Даже самые маленькие дефекты в случае их обнаружения могут быть перемещены в центр сканируемой области, оптимизируя тем самым процесс обследования и анализа дефектов.